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成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司（UPAM)成立于2005年，位于中國成都雙流航空港開發(fā)區(qū)，研發(fā)及廠房超過一萬平方米，是一家以技術(shù)為先導(dǎo)的半導(dǎo)體刻蝕器件，高功率激光器件和特種陶瓷的國家高新技術(shù)制造企業(yè)。成都超純具有自主知識產(chǎn)權(quán)，開發(fā)了多類高技術(shù)，包括先進(jìn)表面處理技術(shù)，可為半導(dǎo)體刻蝕器件和MOCVD器件提供專業(yè)的表面處理服務(wù)；UPMS 先進(jìn)提純技術(shù)，可將材料的純度提純到5N以上；UPHP 先進(jìn)陶瓷生產(chǎn)技術(shù)， 制造高密度碳化物和氮化物陶瓷； 同時公司針對不同基底材料開發(fā)了一整套超光滑表面處理技術(shù)UPUS 來控制表面疵病，提高器件的使用壽命。
在研發(fā)實驗的過程中，前期準(zhǔn)備、后期清洗和實驗結(jié)果的準(zhǔn)確需要超純水來支持，于是成都超純應(yīng)用材料有限責(zé)任公司聯(lián)系到我司四川zhuo越水處理設(shè)備有限公司（新公司四川卓水越醫(yī)療科技有限公司），咨詢超純水設(shè)備相關(guān)問題。
中國電子級超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
表 1 電子級水的技術(shù)指標(biāo)GB/T11446. 1— 2013
項 目 | 技術(shù)指標(biāo) | ||||
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
電阻率(25℃)/MΩ · cm | ≥18 (5%時間不低于 17) | ≥15 (5%時間不低于 13) | ≥12. 0 | ≥0. 5 | |
全硅/(μg/L) | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
微粒數(shù)/ (個/L) | 0. 05μm~0. 1 μm | 500 | — | — | — |
0. 1 μm~0. 2 μm | 300 | — | — | — | |
0. 2 μm~0. 3 μm | 50 | — | — | — | |
0. 3 μm~0. 5 μm | 20 | — | — | — | |
> 0. 5 μm | 4 | — | — | — | |
細(xì)菌個數(shù)/(個/mL) | ≤0. 01 | ≤0. 1 | ≤10 | ≤100 | |
銅/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鋅/(μg/L) | ≤0. 2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
鎳/(μg/L) | ≤0. 1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鈉/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
鉀/(μg/L) | ≤0. 5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
鐵/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — | |
鉛/(μg/L) | ≤0. 1 | — | — | — | |
氟/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
氯/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
亞硝酸根/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
溴/(μg/L) | ≤1 | — | — | — | |
硝酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
磷酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
硫酸根/(μg/L) | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
總有機(jī)碳/(μg/L) | ≤20 | ≤100 | ≤200 | ≤1000 | |
四川卓水越EDI超純水設(shè)備介紹
一、四川卓水越EDI超純水設(shè)備特點
1、不需要酸堿再生,電除鹽的操作是安全的，廢水的處理變得簡單了。
2、可連續(xù)生產(chǎn),電除鹽的生產(chǎn)是連續(xù)的，免除了使用混床過程中復(fù)雜的再生操作，減少了很多備用設(shè)備。
3、不需要處理廢酸堿,沒有廢酸堿的中和排放處理系統(tǒng)。電除鹽的濃水可以直接排放或返回到RO的進(jìn)口。
4、安裝條件簡單,電除鹽在安裝時，占地面積小，廠房都能滿足，對于較低的廠房，可通過對電除鹽模塊的水平配置解決。
5、系統(tǒng)設(shè)計簡單,電除鹽的模塊設(shè)計很容易把它的流量做到450噸/小時甚至更高。
6、運行成本低,電除鹽系統(tǒng)與各種混床相比，在價格上有競爭性。
7、實用的設(shè)計,對于電除鹽系統(tǒng)，不管是維修還是增減設(shè)備的容量都是很容易的。必須要更換膜堆時，在現(xiàn)場只要花極少的停機(jī)時間就可以完成。
8、安裝維修簡便,電除鹽裝置允許通過對其他膜堆的流量重新分配而達(dá)到對某一個膜堆維修的要求，不改變系統(tǒng)的性能。
9、水質(zhì)穩(wěn)定,電除鹽的出水質(zhì)量穩(wěn)定有把握。不會有普通混床那樣的水質(zhì)變化。
10、標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計：利用標(biāo)準(zhǔn)單元，如同搭積木般的組合 可以滿足用戶不同產(chǎn)水量的需要。
二、EDI超純水設(shè)備工藝流程
加藥系統(tǒng)
↓
預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→脫氣系統(tǒng)→EDI系統(tǒng)→供水系統(tǒng)
三、EDI超純水設(shè)備工藝說明
※ 預(yù)處理系統(tǒng)由原水箱、原水泵、機(jī)械過濾器、活性碳過濾器、軟化器、保安過濾器或原水箱、原 水泵、機(jī)械過濾器、保安過濾器、超濾組成；
※ 反滲透系統(tǒng)由高壓泵、反滲透膜組件及膜殼組成，分為一級和二級；
※ 脫氣系統(tǒng)由脫氣膜、自吸泵組成；
※ ED系統(tǒng)由中間水箱、淡水泵、EDI膜塊、直流電源組成；
※ 加藥系統(tǒng)由ST絮凝劑或阻垢劑、PH調(diào)節(jié)劑組成；
※供水系統(tǒng)由純水箱、供水泵組成。
EDI是一種將電滲析和離子交換相互結(jié)合在一起的除鹽新工藝，該工藝過程取電滲析和離子交換兩者之長，彌補(bǔ)對方之短，即利用離子交換能深度脫鹽來克服電滲析極化而脫鹽不*，又利用電滲析極化而發(fā)生水電離產(chǎn)生H+和OH-離子實現(xiàn)樹脂自再生來克服樹脂失效后通過化學(xué)藥劑再生的缺陷，因而EDI技術(shù)是一種好的除鹽工藝。
四、EDI 超純水設(shè)備進(jìn)水要求:
項 目 | 技 術(shù) 要 求 |
給 水 | RO產(chǎn)水, 電導(dǎo)率≤20μs/cm ( 建議<10μs/cm ) |
PH值 | 6.0 ~ 9.0 ( 建議7.0 ~ 9.0 ) |
水 溫 | 5 ~ 35℃ |
硬 度(以CaCO3計) | < 0.5 ppm |
有機(jī)物 | < 0.5 ppm ，TOC建議值為零 |
氧化物 | ≤0.05 ppm (Cl2) , 0.02ppm (O3),兩者為零* |
Fe 、Mn | ≤0.0１ ppm |
二氧化硅 | < 0.5 ppm |
二氧化碳 | < 5 ppm |
油和油脂 | 檢不出 |
油和油脂 檢不出
超純水系統(tǒng)設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域為
醫(yī)藥、電子電力、石油化工冶煉、食品等行業(yè)
EDI技術(shù)特點：
★可連續(xù)生產(chǎn)，產(chǎn)水電阻率高≥ 15 MΩ.cm
★產(chǎn)水率可以高達(dá)95%
★產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定。不需要配酸堿再生
★無污水產(chǎn)生。
★ 系統(tǒng)控制自動化程度高，操作簡單，勞動強(qiáng)度低。
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